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氧化镁薄膜二次电子发射系数的测试方法

         

摘要

综述了氧化镁薄膜二次电子发射系数的主要测试方法,包括静电法、脉冲中和法、双枪法、热控法、单脉冲法以及PDP间接法等.阐述了各测试方法的原理以及在测试中各自的优点和不足.分析表明,脉冲中和法和双枪法比较适合用于测试氧化镁薄膜二次电子发射.

著录项

  • 来源
    《真空与低温》 |2009年第4期|238-243|共6页
  • 作者单位

    兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

    兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

    兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

    兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 O484.442;
  • 关键词

    测试方法; 氧化镁薄膜; 二次电子发射系数;

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