公开/公告号CN103543599B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-20
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201310561167.0
申请日2013-11-12
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陆花
地址 201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 09:34:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-20
授权
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/36 申请日:20131112
实质审查的生效
2014-01-29
公开
公开
机译: 遮罩,用于控制因邻近效应而引起的线端缩短和圆角倒圆
机译: 用于控制因接近效应而引起的线端缩短和圆角倒圆的遮罩
机译: 改善线端缩短的新颖方法