一种应用于光学临近修正过程中的异常图像识别方法

摘要

为有效解决光学临近修正中的异常图片处理效率低的问题,本文建立一种可应用于芯片制造光学临近修正过程中的异常图像识别方法,能实现自动化的异常图像识别和异常数据过滤,从而有效减少了工程师人工经验干预,既保障了数据采集的有效性。