用于MEMS结构中的精确空隙控制和热隔离的纳米尖端间隔物

摘要

本发明涉及用于MEMS结构中的精确空隙控制和热隔离的纳米尖端间隔物。一种包括垂直天线的THz辐射检测器，该垂直天线被热隔离气隙从悬空平台分离，用于将THz辐射能集中到热传感器元件所位于的悬空MEMS平台。THz光子能经耦合电容器的极板之间的热隔离气隙转换为电能，该极板由确定空隙距离的多个纳米尖端间隔物分离。所述电容器将能量从天线耦合到热传感器。