公开/公告号CN102834544B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-20
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201180018024.4
发明设计人 卡尔-海因里希·温克;沃克尔·海克;
申请日2011-03-22
分类号C23C14/56(20060101);B29C37/00(20060101);F16K7/10(20060101);H01J37/18(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人徐伟
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:34:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-20
授权
授权
2013-05-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/56 申请日:20110322
实质审查的生效
2012-12-19
公开
公开
机译: 一种用于密封柔性基板的腔室入口或腔室出口的装置;基板处理设备以及用于组装这种设备的方法
机译: 一种用于密封柔性基板的腔室入口或腔室出口的装置;基板处理设备以及组装这种设备的方法
机译: 用于密封柔性基板基板处理装置的腔室入口或腔室出口的装置以及组装这种装置的方法