大口径光学元件表面损伤检测装置和相应的检测方法

摘要

本发明公开了一种大口径光学元件表面损伤检测装置，该装置主要包括：专用夹具，对待检测光学元件进行定位和夹紧；激光自准直仪，安装于可检测到待检测光学元件的位置，用于检测待检测光学元件的姿态信息；线阵相机组件，安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部缩小的线阵图像；显微镜组件，安装于可观测到待检测光学元件的位置，用于获取待检测光学元件表面局部放大的面阵图像；扫描聚焦组件，对于待检测光学元件表面进行扫描、定位和聚焦；数据采集处理系统，对于专用夹具和扫描聚焦组件的运动进行控制，并对接收到的图像进行存储、处理和图像损伤信息分析。本发明具有广泛的应用前景和可观的社会经济效益。