法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-13
授权
授权
2014-08-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20140318
实质审查的生效
2014-07-23
公开
公开
机译: 用于生物物质的光刻照射的设备,可用于制造DNA芯片,包括微镜阵列,该微镜阵列受到控制以产生任何给定的照明图案
机译: 用于微光刻-投影曝光系统的照明系统,例如在制造过程中使用。 LCD具有形成的光圈,用于产生光瞳形状表面中由反射镜阵列产生的强度分布的预设校正
机译: 一种从点光源提供线性照明的方法,其反射器设置为直角,反射镜也设置为直角,紧接在LED光源之前