公开/公告号CN103531659B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-13
原文格式PDF
申请/专利权人 研创应用材料(赣州)股份有限公司;
申请/专利号CN201310486546.8
发明设计人 黄信二;
申请日2013-10-17
分类号H01L31/18(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构36100 江西省专利事务所;
代理人杨志宇
地址 341000 江西省赣州市开发区香港工业园北区标准厂房六栋
入库时间 2022-08-23 09:33:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-09
专利权的转移 IPC(主分类):H01L31/18 登记生效日:20200521 变更前: 变更后: 申请日:20131017
专利申请权、专利权的转移
2016-01-13
授权
授权
2015-12-30
著录事项变更 IPC(主分类):H01L31/18 变更前: 变更后: 申请日:20131017
著录事项变更
2014-02-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20131017
实质审查的生效
2014-01-22
公开
公开
机译: 真空卷对卷设备以及用于提高真空卷对卷设备的真空度的卷型基材的制造方法
机译: 制造具有改进的阻隔性,柔性和表面抗刮擦性的显示基材的塑料薄膜的方法,该方法适用于连续的卷对卷操作
机译: 卷对卷真空沉积系统的薄膜沉积方法和清洁卷的方法