一种制备真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种制备卷对卷真空镀膜可挠性基板及薄膜的方法，使用整卷铝箔或铝合金箔为基材，镀膜前先针对基板表面进行阳极处理，并同时添加钠元素，高温CIGS蒸镀成膜时藉由扩散过程钠元素会进入CIGS膜层中以提高电池的效率。首创使用铝或者铝合金箔当作基材，缓冲层方面并使用溅镀的锌镁氧膜层取代传统的水浴法的CdS膜，使得CIGS太阳能电池能够实现整卷的生产，利用卷对卷溅镀机镀下电极、缓冲层及透明导电膜层，利用卷对卷蒸镀机制备CIGS吸收层，实现CIGS电池的生产在全真空的制程下完成，确保大面积的均匀性，大幅提高电池的生产效率及产率，提高了薄膜质量及性能，符合CIGS薄膜太阳能电池的生产需求。