首页> 中国专利> 一种制备真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的方法

一种制备真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种制备卷对卷真空镀膜可挠性基板及薄膜的方法,使用整卷铝箔或铝合金箔为基材,镀膜前先针对基板表面进行阳极处理,并同时添加钠元素,高温CIGS蒸镀成膜时藉由扩散过程钠元素会进入CIGS膜层中以提高电池的效率。首创使用铝或者铝合金箔当作基材,缓冲层方面并使用溅镀的锌镁氧膜层取代传统的水浴法的CdS膜,使得CIGS太阳能电池能够实现整卷的生产,利用卷对卷溅镀机镀下电极、缓冲层及透明导电膜层,利用卷对卷蒸镀机制备CIGS吸收层,实现CIGS电池的生产在全真空的制程下完成,确保大面积的均匀性,大幅提高电池的生产效率及产率,提高了薄膜质量及性能,符合CIGS薄膜太阳能电池的生产需求。

著录项

  • 公开/公告号CN103531659B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-01-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 研创应用材料(赣州)股份有限公司;

    申请/专利号CN201310486546.8

  • 发明设计人 黄信二;

    申请日2013-10-17

  • 分类号H01L31/18(20060101);C23C14/35(20060101);

  • 代理机构36100 江西省专利事务所;

  • 代理人杨志宇

  • 地址 341000 江西省赣州市开发区香港工业园北区标准厂房六栋

  • 入库时间 2022-08-23 09:33:33

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-09

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L31/18 登记生效日:20200521 变更前: 变更后: 申请日:20131017

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-01-13

    授权

    授权

  • 2015-12-30

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L31/18 变更前: 变更后: 申请日:20131017

    著录事项变更

  • 2014-02-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20131017

    实质审查的生效

  • 2014-01-22

    公开

    公开

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