公开/公告号CN103882417B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-06
原文格式PDF
申请/专利权人 罗门哈斯电子材料有限公司;
申请/专利号CN201310757370.5
申请日2013-12-20
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人胡嘉倩
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:33:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-06
授权
授权
2014-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C22/06 申请日:20131220
实质审查的生效
2014-06-25
公开
公开
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