公开/公告号CN102770940B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-20
原文格式PDF
申请/专利权人 并木精密宝石株式会社;株式会社迪思科;
申请/专利号CN201180009701.6
申请日2011-03-04
分类号H01L21/20(20060101);C30B29/20(20060101);C30B33/02(20060101);H01L21/268(20060101);
代理机构31267 上海音科专利商标代理有限公司;
代理人张立岩
地址 日本国东京都足立区新田3丁目8番22号
入库时间 2022-08-23 09:33:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/20 授权公告日:20160120 终止日期:20180304 申请日:20110304
专利权的终止
2016-01-20
授权
授权
2012-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/20 申请日:20110304
实质审查的生效
2012-11-07
公开
公开
机译: 单晶衬底,单晶衬底的制造方法,多层膜单晶衬底的制造方法和元件制造方法
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