法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-25
授权
授权
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20130111
实质审查的生效
2014-09-17
公开
公开
机译: 蒸镀掩模的制造方法,蒸镀掩模制备体,有机半导体元件的制造方法,有机EL显示器的制造方法以及蒸镀掩模
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机译: 带框架的蒸镀掩模,具有框架的蒸镀掩模的制造方法,具有框架的蒸镀掩模的制备,图案的制造方法以及有机半导体元件的制造方法