法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-02
授权
授权
2010-04-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/08 申请日:20080310
实质审查的生效
2010-03-10
公开
公开
机译: 一种用于校准厚度测量装置的方法和用于厚度测量的厚度测量装置。监视层的厚度,带,膜等。
机译: 薄膜厚度测量装置,膜厚度测量方法,膜厚度测量程序,以及用于记录膜厚度测量程序的记录介质
机译: 测量绞盘和厚度测量装置,厚度测量系统的厚度测量方式,厚度测量装置的厚度测量方式和厚度测量程序无效确定设备