一种应用于反射表面厚度测量的新方法

摘要

讨论了垂直入射与斜入射两种方式的主动式三角法的测量原理，提出在被测物面为反射表面的情况下，用斜入射主动式三角法进行距离和厚度的测量，分析了被测物表面细节形状的变化对测量结果的影响，以及在厚度测量时消除这种影响的方法。