表面形状的测量装置及应用于该装置的光学多点共焦反射方法

摘要

本发明涉及一种表面形状的测量装置及应用于该装置的光学多点共焦反射方法。测量装置包括固定机架、基准面、滑轨、滑块、检测装置、驱动装置、及位移传感器；检测装置包括活动支架及分别固定安装在活动支架上的成像透镜组、半透半反镜、第一分划板、第二分划板、面光源、以及面阵图像传感器；成像透镜组的光轴与基准面垂直设置；测量装置还包括计算处理装置。本发明不但量程更大，精度不受量程的影响，而且在进行小区域三维表面多点测量时，只需要做一维方向(垂直于基准面的方向)移动，工作效率更高。