佳能非接触三维表面形状测量装置面市可以测量透明薄膜材料

摘要

佳能营销公司不久前开始销售可适用于多种材料的非接触三维表面形状测量装置“Zygo New View 6300”。通过采用专用软件，测量此前无法评测的透明薄膜材料的表面形状和膜厚分布，测量范围为1~50μm。