非接触表面形状测量方法及其装置

摘要

即使来自测量工件(1)的返回光(L’)与双部分传感器(S)的中心不一致，也能够在双部分传感器(S)的两个传感器(a、b)的电压差进入附近范围内时，根据该电压差计算修正值，对物镜(4)实际的在上下方向上的位置相加该修正值，由此计算直到物镜单元(4)成为聚焦状态(直到返回光(L’)与双部分传感器的中心一致为止)的移动量。