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KTN結晶による波長可変技術を応用した厚み計測装置向け高安定光源を新開発

机译:用于厚度测量装置的高稳定光源,通过KTN晶体的波长变量技术进行了新开发的

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摘要

浜松ホトニクス(株),NTTアドバンステクノロジ(NTT-AT). NTTは,夕ン夕ル酸ニオブ酸力リウム(KTN)光スキャナ一を応用した,発振波長を時間とともに周期的に変化させる高安定な波長掃引光源を新たに開発しました.今後の市場の拡大が予想されるパワ一デバイス用シリコンウェハの厚み計測装置用途に,2017年4月から浜松ホトニクスとNTT-ATの両社が国内の厚み計測装置メ一力一に向けてサンプル出荷を開始しました.
机译:NTT先进技术(NTT-at)Hamamatsu Photonics Co.,Ltd。NTT是高度稳定的,以便定期改变振荡波长随时间,施加振荡波长随时间,施加乙基酮的绝缘体(KTN)光学扫描仪1 。我们新开发了一个波长扫描光源。Hamamatsu Photonics和NTT-AT的两家公司从2017年4月到硅晶片的厚度测量装置,用于扩展未来市场样品装运的输送力。

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