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压电体薄膜及其制造方法、喷墨头、利用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、利用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及利用压电发电元件的发电方法

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摘要

本发明的目的在于提供一种非铅压电体薄膜及其制造方法，所述非铅压电体薄膜含有非铅强介电材料并且具有低介电损失和与PZT同样的高压电性能。本发明的压电体薄膜具有层叠结构，层叠结构具有电极膜和具有斜方晶结构的（1-x）（Na，Bi）TiO

著录项

公开/公告号CN103329297B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-02

原文格式PDF
申请/专利权人松下电器产业株式会社;
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申请/专利号CN201180037811.3
发明设计人张替贵圣;田中良明;足立秀明;藤井映志;
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申请日2011-11-17
分类号
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:29:09

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-09-02

授权

授权
2014-02-12

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/08 申请日:20111117

实质审查的生效
2013-09-25

公开

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