一种产生极紫外可调谐单色相干光源的装置和方法

摘要

本发明提供了一种产生极紫外可调谐单色相干光源的装置和方法，利用800nm飞秒激光与气体相互作用产生高次谐波，然后通过宏观相位匹配和原子内相位匹配技术将高次谐波能量从频率梳中调谐到某个特定的阶次，使其只输出某个特定阶次的单个高次谐波（单色）。此外，这个特定高次谐波还可以通过相位匹配技术进行调谐，即输出波长可调谐。本发明所述装置产生的极紫外可调谐单色相干光源可用于高精度微纳结构探测、高精度全息成像、高精度雕刻等领域，也可作为自由电子激光器的注入源，应用范围极其广泛，它的优点是极紫外输出、单色可调谐、相干性好。