公开/公告号CN103138149A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-06-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN201310041970.1
申请日2013-02-04
分类号H01S4/00(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯
地址 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱
入库时间 2024-02-19 19:24:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-01
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01S4/00 申请公布日:20130605 申请日:20130204
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-07-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S4/00 申请日:20130204
实质审查的生效
2013-06-05
公开
公开
机译: 极紫外光或软X射线范围的短波长光源装置,以及产生极紫外光或软X射线范围的短波长光源的方法
机译: 产生极紫外和软X射线或通过等离子体产生的装置和方法
机译: 产生极紫外和软X射线或通过等离子体产生的装置和方法