法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F1/35 授权公告日:20150812 终止日期:20160520 申请日:20130520
专利权的终止
2015-08-12
授权
授权
2013-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G02F1/35 申请日:20130520
实质审查的生效
2013-09-18
公开
公开
机译: 一种产生极紫外光源装置和极紫外光的方法。
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法