基于力平衡闭环控制的硅微机械陀螺性能提升方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于力平衡闭环控制的硅微机械陀螺性能提升方法及装置，方法包括：1)检测信号经驱动信号解调后、滤波以及PID控制后再调制至驱动信号，获取正交耦合误差信号；2)检测信号经驱动信号90°移相后得到的驱动正交信号解调后、滤波以及PID控制后获取哥氏力信号；3)将正交耦合误差信号和哥氏力信号叠加与偏置直流电压一起加载到硅微机械陀螺的检测电极。装置包括放大器、90°移相器、正交耦合误差信号获取单元、哥氏力信号获取单元、加法器、电压输出单元。本发明通过抵消作用到检测质量块上的作用力，保持检测元件维持在原有位置，能够有效避免正交误差大、特征参数漂移和同步解调中相位差等对微陀螺性能的影响。