用于产生等离子体射束的方法以及等离子体源

摘要

在用于产生等离子体射束的方法中，该等离子体射束被这样从一个由电场和磁场产生的等离子体中这样引出，使得一个高频电压被施加到一个引出电极和一个具有激励面的激励电极的高频电极装置上并且该等离子体相对引出电极在时间平均中位于一个较高的、使等离子体正离子加速的电位上并且该等离子体和引出的等离子体射束受一个磁场地影响，规定了，为了产生磁场使用一个平面的磁子，该磁子被设置在激励电极后面的背离该等离子体的一侧上并且其磁性北极和磁性南极指向等离子体腔室内部中，使得构成一个弯曲的、伸入到等离子体腔室内部的磁场。在用于实施所述方法的等离子体源中，具有一个带有引出电极和具有激励面的激励电极的高频电极装置的等离子体容器，该激励面通过一个适配网络可与一个高频振荡器连接或被与一个高频振荡器连接，其中，一个等离子体腔室位于该激励面与引出电极之间，在该等离子体腔室中可激励一个等离子体及其中，引出电极与激励面的面积大小被这样选择，使得几乎在引出电极上下降了全部高频电压；具有一个用于产生磁场的磁装置，规定了，该磁装置具有至少一个磁性北极和一个磁性南极，它们分别被设置在激励电极后面的背离等离子体腔室的一侧上并且指向该等离子体腔室的内部，使得可形成一个弯曲的、伸入到等离子体腔室内部中的磁场，其中，北极或南极中至少一个被长形地构造，使得可形成一个隧道状的区域，加载的粒子可被保持在该区域中并且它们可沿着该区域扩散。