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用于产生均匀等离子体的具有分段束收集器的电子束等离子体源

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摘要

一种在工作件处理腔室中通过电子束产生等离子体的等离子体反应器，该等离子体反应器具有电子束源及分段束收集器，该分段束收集器是剖面式的以促进电子束产生的等离子体中的均匀性。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-01-11

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H05H1/34 申请公布日:20140430 申请日:20121015

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-11-26

实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/34 申请日:20121015

实质审查的生效
2014-04-30

公开

公开

1. 用于产生均匀等离子体的具有分段束收集器的电子束等离子体源 [P] . 中国专利： CN103766003A . 2014-04-30
2. 用于均匀等离子体产生的切换式电子束等离子体源阵列 [P] . 中国专利： CN103766005A . 2014-04-30
3. Electron beam plasma source with segmented beam dump for uniform plasma generation [P] . 美国专利： US8951384B2 . 2015-02-10

机译：具有分段束流收集器的电子束等离子体源，可产生均匀的等离子体
4. ELECTRON BEAM PLASMA SOURCE WITH SEGMENTED SUPPRESSION ELECTRODE FOR UNIFORM PLASMA GENERATION [P] . 美国专利： US2014265855A1 . 2014-09-18

机译：具有分段抑制电极的电子束等离子体源，用于均匀产生等离子体
5. Electron beam plasma source with segmented suppression electrode for uniform plasma generation [P] . 美国专利： US9443700B2 . 2016-09-13

机译：具有分段抑制电极的电子束等离子体源，可产生均匀的等离子体