公开/公告号CN1178278C
专利类型发明授权
公开/公告日2004-12-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN02112311.X
申请日2002-06-28
分类号H01L21/205;
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 08:57:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20041201 终止日期:20150628 申请日:20020628
专利权的终止
2004-12-01
授权
授权
2003-04-30
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-02-05
公开
公开
2002-11-13
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 砷化镓分子束外延生长中硅氮化镓扩散阻挡层的制备方法
机译: 用于砷化镓分子束外延生长的氮化硅镓扩散阻挡层的制备方法
机译: 用于砷化镓分子束外延生长的氮化硅镓扩散阻挡层的制备方法