一种测量键合金丝散射参数的装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种测量键合金丝散射参数的装置及其使用方法，首先测量出与测试结构具有相同复传播常数的有耗均匀传输线的S参数矩阵，然后列出方程计算得到输入测试接头和输出测试接头的T参数矩阵以及有耗均匀传输线复传播常数。在测试结构的串联T参数矩阵等式中，即可利用计算得到的输入输出接头的T参数矩阵和有耗均匀传输线的复传播常数，消去输入测试接头、输出测试接头和有耗均匀传输线的T矩阵，算出准确的键合金丝T参数矩阵，再转换成S参数矩阵。因此消除测试输入输出测试接头以及连接键合金丝与输入输出测试接头的有耗均匀传输线的影响。