用于焊料凸块模具填充的真空转移

摘要

本公开涉及一种接合金属注入工具，所述接合金属注入工具可以包括填充头，填充头具有用于容纳熔融接合金属(例如，焊料)和气体的密封腔室以及用于引导熔融接合金属流入模具的主表面内的型腔中的喷嘴。压力控制设备能够可控地向腔室内施加压力以将接合金属从喷嘴喷入型腔内。压力控制设备还可以可控地降低腔室内的压力以用于诸如在将填充头从驻留位移动到模具表面上时或者在将填充头从模具表面上移走送到驻留位上时阻止从喷嘴中喷出接合金属。