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公开/公告号CN103000679B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-05-06
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;
申请/专利号CN201210558553.X
发明设计人 付军;王玉东;崔杰;赵悦;张伟;刘志弘;许平;
申请日2012-12-20
分类号
代理机构北京中伟智信专利商标代理事务所;
代理人张岱
地址 100084 北京市海淀区清华园1号
入库时间 2022-08-23 09:25:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-06
授权
2013-04-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/73 申请日:20121220
实质审查的生效
2013-03-27
公开
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