法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-13
授权
授权
2013-03-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20121010
实质审查的生效
2013-02-06
公开
公开
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机译: IGBT用硅单晶硅片,IGBT用硅单晶硅片的制造方法和IGBT用硅单晶硅片的电阻率确定方法
机译: IGBT用硅单晶硅片,IGBT用硅单晶硅片的制造方法以及确保IGBT用硅单晶硅片的电阻率的方法