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直拉单晶硅生长过程中固液界面形状研究

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本文采用晶体生长软件CGSim对直拉单晶硅生长过程中固液界面进行了研究.讨论了不同晶体等径长度下固液界面形状的特点,模拟了晶体生长界面的变化过程;与此同时对不同晶体拉速、晶转、埚转对固液界面形状的影响进行研究,根据模拟结果确定影响固液界面的最优拉速、晶转及埚转.

著录项

来源
《内蒙古石油化工》|2017年第10期|10-14|共5页
作者
杨翠;
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作者单位

北方民族大学,宁夏银川750021;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类晶体生长;
关键词
直拉单晶硅; 固液界面; 等径长度; 拉速; 晶转; 锅转;

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