改善之鳍式场效晶体管

摘要

一种改善之鳍式场效晶体管，该鳍式晶体管包括位于基板表面上的介电层，用于隔离该晶体管之栅极与该基板。该介电层包括非选择性蚀刻表面以制造鳍式结构的顶部，从而使该些鳍式结构在整个晶圆上具有降低的高度变化。该鳍式晶体管还可包括至少位于源/漏区下方的反向掺杂区，以降低寄生电容，提升性能。