公开/公告号CN102723273B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-03-11
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201210167991.3
申请日2012-05-28
分类号
代理机构上海新天专利代理有限公司;
代理人王敏杰
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 09:23:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-11
授权
授权
2012-12-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3213 申请日:20120528
实质审查的生效
2012-10-10
公开
公开
机译: 一种扩大尺寸的结构中形成硅化物,锗化物或锗硅化物的方法的方法和扩大工艺窗口的方法
机译: 一种扩大尺寸的结构中形成硅化物,锗化物或锗硅化物的方法的方法和扩大工艺窗口的方法
机译: 在尺寸非常小的结构中实现硅化物,锗化物或锗硅化物形成的方法并扩大工艺窗口的方法