Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
Lam Research Corporation, 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA USA 94538;
CD shrink; plasma-assisted shrink; process latitude; process window improvement; contact; via; trench;
机译:优化抗蚀剂参数以改善高级节点中接触图案的轮廓和工艺窗口
机译:通过掺杂过渡金属元素扩大Fe-Si-B-P-Cu-M纳米晶合金的热处理加工窗口
机译:水杨酸增塑小麦麸质的加工窗口
机译:一种新的等离子体辅助收缩过程,可以扩大窄沟槽的工艺窗口和45nm节点应用的触点及更远
机译:食品接触材料的表面改性,用于加工和包装应用。
机译:Spt5对RNA聚合酶II合成能力的调节在延伸过程中被限制在一个狭窄的窗口内
机译:seasoft V2:sBE数据处理 - 适用于Windows Xp,Windows Vista或Windows 7的CTD数据处理和绘图软件
机译:移民和归化局与9月11日两名恐怖分子的接触:审查INs的mohamed atta和marwan alshehhi的入学,处理他们的身份变更申请,以及努力追踪外国留学生