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降低测试串扰的RFID芯片结构及测试方法

摘要

本发明公开了一种降低测试串扰的RFID芯片结构,其在RFID芯片中除设计有常规的RF天线端子外,还设计增加有至少一个与硅衬底连接的地端子,该地端子引出有测试压焊点,作为参考地测试压焊点。本发明还公开了一种与所述芯片结构对应的降低测试串扰的测试方法,即在RFID芯片晶圆级测试中该地端子测试压焊点通过探针卡与测试系统的信号参考地连接,因此测试对象芯片的参考地电平能够与测试系统的信号参考地保持一致,从而降低由参考地电平起伏而造成串扰,提高测试稳定性。

著录项

  • 公开/公告号CN102542320B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-12-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;

    申请/专利号CN201010582563.8

  • 发明设计人 曾志敏;

    申请日2010-12-10

  • 分类号

  • 代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;

  • 代理人丁纪铁

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

  • 入库时间 2022-08-23 09:22:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-12-10

    授权

    授权

  • 2014-01-29

    专利申请权的转移 IPC(主分类):G06K 19/077 变更前: 变更后: 登记生效日:20140103 申请日:20101210

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-09-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06K 19/077 申请日:20101210

    实质审查的生效

  • 2012-07-04

    公开

    公开

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