串联式精密定位一维平台

摘要

本发明提供了一种串联式精密定位一维平台，包括基座、相互串联的第一电机和第二电机、由所述第一电机及第二电机驱动的补偿定位平台，所述第一电机和第二电机分别通过减振装置安装到所述基座上，所述补偿定位平台包括定位平台、与所述基座固定连接的平台底座、与所述平台底座通过第一导轨连接的柔性平台，所属柔性平台具有压电致动器及与所述压电致动器连接的柔性铰链，所述定位平台位于所述柔性平台上并与所述柔性铰链连接，所述平台底座两侧设有运动测量光栅尺，该串联式精密定位一维平台解决了现有技术无法突破更高加速的精密定位问题。