法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-29
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 授权公告日:20040623 终止日期:20160202 申请日:20000202
专利权的终止
2004-06-23
授权
授权
2002-03-20
公开
公开
2002-03-13
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 具有磁桶和同心等离子体及材料源的电离物理气相沉积方法及装置
机译: 包括材料源和同心等离子体以及磁桶和等离子体气相沉积的设备
机译: 磁桶,等离子和物质源的电离物理气相沉积方法及装置