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具有可调节设计窗口的ESD保护器件

摘要

本发明提供了一种具有可调节设计窗口的ESD保扩器件,包括:静电放电(ESD)器件,所述静电放电(ESD)器件包括:第一高电压阱(HVW)区域,为第一导电类型;第一重掺杂区域,位于所述第一HVW区域上方,为第二导电类型,所述第二导电类型与所述第一导电类型相反;第一掺杂区域,为第一导电类型,接触所述第一重掺杂区域和所述第一HVW区域,其中,所述第一掺杂区域处于所述第一重掺杂区域下方,并且处于所述第一HVW区域上方,其中,所述第一掺杂区域的第一杂质浓度高于所述HVW区域的第二杂质浓度,并且低于所述第一重掺杂区域的第三杂质浓度;第二重掺杂区域,位于所述第一HVW区域上方,为第二导电类型;以及第三重掺杂区域,位于所述第一HVW区域上方并且接触所述第一HVW区域,为第一导电类型。

著录项

  • 公开/公告号CN102569292B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-11-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;

    申请/专利号CN201110460934.X

  • 发明设计人 郭锡瑜;李介文;张伊锋;

    申请日2011-12-29

  • 分类号

  • 代理机构北京德恒律师事务所;

  • 代理人陆鑫

  • 地址 中国台湾新竹

  • 入库时间 2022-08-23 09:22:11

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-11-12

    授权

    授权

  • 2012-09-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/02 申请日:20111229

    实质审查的生效

  • 2012-07-11

    公开

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