首页> 中国专利> 感光性树脂组合物、使用其的光致抗蚀膜、抗蚀图案的形成方法及印刷电路板的制造方法

感光性树脂组合物、使用其的光致抗蚀膜、抗蚀图案的形成方法及印刷电路板的制造方法

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物,其对波长350nm~410nm的光线的灵敏度非常高,分辨率、密合性、曝光后的印出性优异,并且可得到稳定的生产量,而且在溶剂中的溶解性良好,抗蚀剂中不容易产生析出物。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,其含有(A)粘结剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)下述通式(1)或(2)所示的N,N,N’,N’-四芳基联苯胺衍生物。

著录项

  • 公开/公告号CN102844709B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-08-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日合墨东株式会社;

    申请/专利号CN201180019201.0

  • 发明设计人 寺田刚;丰田大贵;

    申请日2011-03-24

  • 分类号

  • 代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘新宇

  • 地址 日本国东京都

  • 入库时间 2022-08-23 09:20:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-03

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/031 变更前: 变更后: 申请日:20110324

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2014-08-20

    授权

    授权

  • 2013-10-02

    著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/031 变更前: 变更后: 申请日:20110324

    著录事项变更

  • 2013-02-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/031 申请日:20110324

    实质审查的生效

  • 2012-12-26

    公开

    公开

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