公开/公告号CN102768411B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;
申请/专利号CN201210172604.5
申请日2012-05-30
分类号
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人成金玉
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2022-08-23 09:19:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-07
授权
授权
2012-12-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 27/30 申请日:20120530
实质审查的生效
2012-11-07
公开
公开
机译: 具有对准标记的补充分割掩模,形成补充分割掩模的对准标记的方法,使用补充分割掩模制造的半导体装置及其制造方法
机译: 具有对准标记的补充分割掩模,形成补充分割掩模的对准标记的方法,使用补充分割掩模制造的半导体装置及其制造方法
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