基于光弹调制器的对准光路装调方法

摘要

对准系统是半导体设备光刻机的核心分系统之一,为保证其对准精度,提出了一种基于光弹调制器的对准光路装调方法.针对双光栅对准系统,物光栅、参考光栅与偏l振分光元件SAVART板的相对位置关系是影响对准精度的重要因素,本文运用傅里叶光学原理对对准光路进行了理论分析,并结合偏振光学原理推导出基于光弹调制器的对准信号强度与双光栅相对位移、SAVART板剪切方向的函数关系.通过MATLAB仿真,寻找出SAVART板在不同剪切方向下对准信号强度的变化规律,并对变化规律进行了解释与说明,对系统装调具有重要的指导意义.