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植球设备和利用该植球设备的植球方法

摘要

本发明提供了一种植球设备及利用该植球设备的植球方法。所述植球设备包括用于拾取焊球的拾取工具和用于容纳焊球的容器,所述拾取工具包括:第一真空室和第二真空室,第一真空室和第二真空室相互独立;第一真空开关和第二真空开关,分别设置在所述第一真空室的一端和所述第二真空室的一端,所述第一真空开关和所述第二真空开关被独立地操作,以独立地控制第一真空室和第二真空室的真空度;第一喷嘴,设置在第一真空室的另一端并与第一真空室连通;第二喷嘴,设置在第二真空室的另一端并与第二真空室连通。

著录项

  • 公开/公告号CN102522345B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-06-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201110434811.9

  • 发明设计人 谢晓强;

    申请日2011-12-15

  • 分类号

  • 代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司;

  • 代理人薛义丹

  • 地址 215021 江苏省苏州市工业园区国际科技园科技广场7楼

  • 入库时间 2022-08-23 09:19:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-06-18

    授权

    授权

  • 2012-09-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20111215

    实质审查的生效

  • 2012-06-27

    公开

    公开

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