用于大尺寸束控制应用的多轴、大倾角、晶片级微镜阵列

摘要

一种用于反射或重定向入射的光、微波或声能的系统(120)，包括配置为支撑反射元件(130)阵列的第一衬底(144)，所述反射元件能够响应于反射器角度控制信号在整个基本上90度的范围内进行角度移位，还包括控制器，其被编程为产生反射器角度控制信号以实现期望的入射能量、束或波前重定向。反射元件(130)优选包括铰接地或可移动地附接至第一衬底(130)上的MEMS微反射器元件，并且限定瞄准入射的光、微波或声能的源的反射表面。