SPM镜群检测中用于纳米级标记刻制的微致动器

摘要

研制了一种应用压电陶瓷的微进给机构用以驱动金刚石探针做纳米级微压入,并通过与现有激光原子力显微镜的激光反馈信号与工作台进给系统相配合,构成闭环调控型的金刚石探针微压入标记刻制系统.该系统能在被测样品表面刻制出具有一定深度的纳米级定位点或标记,为不同类型的显微镜对同一表面区域做分时、重复检测时提供精确定位,进一步实现多模式显微镜对同一表面的多参数综合评测.此外,应用该系统,配合不同的传感器,还可实现加工表面的磨损检测、硬度检测(压入法)以及多幅局部扫描图像的拼接(获取更大的扫描面积)等功能.