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公开/公告号CN102169016B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201110001200.5
发明设计人 谭智勇;曹俊诚;黎华;郭旭光;韩英军;
申请日2011-01-05
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人王松
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:16:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-18
授权
2011-10-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 1/42 申请日:20110105
实质审查的生效
2011-08-31
公开
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