微波水热辅助溶胶凝胶法制备硫化铜薄膜的方法

摘要

一种微波水热辅助溶胶凝胶法制备硫化铜薄膜的方法，将玻璃基板依次浸泡在稀盐酸，浓硫酸、双氧水和去离子水的混合溶液中进行活化处理，将乙酸铜加入到乙醇中，再加入三乙醇胺得溶胶A；将活化的玻璃基板浸入溶胶A中，采用匀速提拉法对其进行镀膜，将镀膜后的基板干燥；将硫代乙酰胺或硫脲加入去离子水中得溶液D；将溶液D转入微波水热反应釜中，密封后将其放入温压双控微波水热反应仪中，选择温控模式进行反应，反应结束后用去离子水和无水乙醇洗涤干净，然后真空干燥得到硫化铜薄膜。本发明采用微波水热辅助溶胶凝胶法制备硫化铜薄膜，充分结合了两种方法的优点，所制备的薄膜均匀，致密，结合力强，结晶度高，低缺陷，性能良好。