一种大面积双面氟掺杂氧化锡透明导电薄膜的喷涂方法

摘要

本发明公开了一种大面积双面氟掺杂氧化锡透明导电薄膜的喷涂方法，其是采用喷雾热解制备技术，向镀膜室内喷入大量含有氟掺杂氧化锡前驱体喷涂液的雾滴，该雾滴在抽风机的带动下有规律地定向移动，在高温作用下，雾滴经过溶剂挥发、溶质的热分解反应等过程后，在立式放置的玻璃基体正反两面均匀形核与长大，形成氟掺杂氧化锡薄膜，剩余废气经排风系统排出，最后将制备的双面氟掺杂氧化锡薄膜在强风下冷却即完成薄膜制备过程。使用该方法制备的双面氟掺杂氧化锡薄膜，成本低、膜面污染小、可见光透过率和红外反射率高，导电性能好，同时由于采用喷雾热解制备技术，工艺简单易行、薄膜制备效率高、可大面积双面制膜。