用于使用滑动法的临时性晶片粘结的高温旋涂粘结组合物

摘要

提供了新颖的组合物以及使用这些组合物作为粘结组合物的方法。这些组合物包含分散或溶解在溶剂体系中的聚合物，可以用来将活性晶片粘结于载体晶片或基片，以便在随后的加工和处理过程中帮助保护所述活性晶片和其活性位点。所述组合物形成粘结层，该粘结层是耐化学性且耐热性的，但是还能够被软化，在制造过程的合适阶段能使所述晶片滑动分离。