公开/公告号CN102099746B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 皇家飞利浦电子股份有限公司;爱克斯特里姆科技有限责任公司;
申请/专利号CN200980128098.6
申请日2009-07-10
分类号G03F7/20(20060101);H05G2/00(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人谢建云;刘鹏
地址 荷兰艾恩德霍芬
入库时间 2022-08-23 09:14:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-27
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20190808 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2014-12-10
专利权的转移 IPC(主分类):G03F7/20 变更前: 变更后: 登记生效日:20141115 申请日:20090710
专利申请权、专利权的转移
2014-12-10
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F7/20 变更前: 变更后: 申请日:20090710
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2014-12-10
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20090710
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2014-12-10
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 登记生效日:20141115 申请日:20090710
专利申请权、专利权的转移
2013-05-08
授权
授权
2013-05-08
授权
授权
2011-11-23
专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F7/20 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2011-11-23
专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2011-09-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20090710
实质审查的生效
2011-09-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20090710
实质审查的生效
2011-06-15
公开
公开
2011-06-15
公开
公开
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机译： 包括污染捕获器的极端紫外线辐射发生装置
机译： 包括污染捕获器的极端紫外线辐射发生装置
机译： 包含污染捕获器的极紫外辐射发生装置
