University of Maryland, College Park.;
机译:激光脉冲与锡基等离子体相互作用的极紫外光刻技术
机译:(TMT)(N)(n)簇作为无沥青锡源,用于产生较大紫外线(EUV)光刻中的多电荷锡离子,在激光激光照射下
机译:使用预脉冲锡激光产生的等离子体增强极紫外发射,以用于高级光刻应用
机译:用于极端紫外线光刻的集群喷射激光等离子体源的扩展
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:用于极端紫外线光刻的135nm强度等离子体放电源
机译:等离子体物理应用于强辐射源,脉冲功率和空间物理。短脉冲超强激光 - 等离子体相互作用实验。