包含耐溅射材料的极端紫外线辐射反射元件

摘要

本发明涉及改进的EUV反射元件，包括：a)第一层，基本上由高反射性材料制成,其中第一层基本上由选自以下组中的材料制成：钛、钒、铬、钇、锆、铌、锝、钌、铑、钯、银、钽、钨、铼、锇、铱、铂、金、铊、铅、类金刚石碳（DLC）或其混合物和/或合金；b)第二层，厚度≤5nm，基本上由耐溅射性≤10nm/10⁸次射击的材料制成，其中第二层基本上由选自以下组中的材料制成，该组包括：高共价金属氧化物、氮氧化物、磷化物、硫化物或其混合物,或者基本上由选自以下组中的材料制成，所述组包括：钨、石墨、石墨烯、碳复合材料和/或碳纤维材料和/或其混合物,或者基本上由合金制成，其中所述合金的至少一种成分从以下组中选出，所述组包括钼、钨、钛和铼,并且由此第二层被设置在入射的和/或反射的EUV光的路径中。